ウェットエッチングにおける銅箔へのニッケル表面処理の効果

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • The effect of nickel surface treatment for copper foil in the wet etching

抄録

ウェットエッチングにおける回路製造の微細化技術の問題として、アンダーカットの発生が挙げられる。本研究ではアンダーカット抑制を目的として銅箔に異種金属による表面処理を施し、銅と異種金属との腐食電位の差を利用した溶解挙動の変化について実験を行った。今回は表面処理材としてニッケルを用い、その考察を行う。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390564238003111040
  • NII論文ID
    130007429072
  • DOI
    10.11486/ejisso.27.0_436
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ