レーザー照射による使用済み酸化セリウム研磨材の表面改質に関する研究

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タイトル別名
  • Study of Surface Modification of used Cerium Oxide Abrasive by Laser Irradiation

抄録

<p>大気中において波長405nm半導体レーザーを乾燥させた使用済み酸化セリウム研磨剤に照射した結果、照射面のSi成分が減少する傾向及びCe成分が増加する傾向が得られた。照射前後の使用済み研磨剤スラリーの模擬的研磨試験を行った結果、レーザー照射後の使用済み研磨剤の研磨特性向上の可能性が示唆された。</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390564238017458176
  • NII論文ID
    130007480576
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018s.0_757
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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