収差補正STEM-EDSによる原子分解能マッピング

  • 奥西 栄治
    日本電子株式会社EM事業ユニットアプリケーション部
  • 大西 市朗
    日本電子株式会社EM事業ユニットアプリケーション部

書誌事項

タイトル別名
  • Atomic Resolution EDS Mapping by Cs-Corrected STEM-EDS
  • シュウサ ホセイ STEM-EDS ニ ヨル ゲンシ ブンカイノウ マッピング

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抄録

<p>収差補正STEMの登場によりEELSと組み合わせた原子分解能マッピングによる原子コラム分析が多く報告されている.一方EDSにおいてはその検出立体角の低さから原子コラムマッピングは困難な場合が多い.最近この検出立体角を向上させた100 mm2SDDが新しい検出器として開発された.本研究では100 mm2SDDを用い,SrTiO3,RB3021といった酸化物材料から原子コラムマップを取得したので報告する.</p>

収録刊行物

  • 顕微鏡

    顕微鏡 47 (3), 172-175, 2012-09-30

    公益社団法人 日本顕微鏡学会

参考文献 (13)*注記

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