光周波数コムを用いた高精度アライメントモニター(第3報)
書誌事項
- タイトル別名
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- Precise alignment monitor based on an optical frequency comb (3rd report)
- Calibration for the pulse interval of the optical frequency comb without wringing
- リンギングを用いない光周波数コムパルス間隔の校正
抄録
<p>我々のアライメントモニターは,エタロンにて圧縮された光周波数コムのパルス間隔を測長基準とする.従来のパルス間隔の校正では,校正基準とするゲージブロックとガラス平行平面基盤間のリンギングの不確かさが評価できないことから,校正値の不確かさが制限された.ここでは,リンギングを用いない校正方法により,より小さな不確かさでの校正の実現を目指した.</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2019A (0), 138-139, 2019-08-20
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390565134829840000
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- NII論文ID
- 130007800852
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可