ラインビーム整形されたフェムト秒パルスを用いたレーザー加工

DOI Web Site Web Site 参考文献13件

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タイトル別名
  • Laser Processing with Line-Beam Shaped Femtosecond Pulses
  • Laser Original ラインビーム整形されたフェムト秒パルスを用いたレーザー加工
  • Laser Original ラインビーム セイケイ サレタ フェムトビョウ パルス オ モチイタ レーザー カコウ

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抄録

Line-shaped femtosecond pulse is well suitable for large-area machining that requires a high-speed fabrication, for example, laser cutting, peeling and grooving. In this study, we demonstrate a shingleshot fabrication of three-dimensional line structure inside a glass, a laser peeling of indium tin oxide fi lm and a laser grooving of stainless with the line-shaped pulses by a diffractive cylindrical lens on a spatial light modulator.

収録刊行物

  • レーザー研究

    レーザー研究 41 (10), 821-, 2013

    一般社団法人 レーザー学会

参考文献 (13)*注記

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