微細銅めっきとエッチングにおける形状変化と吸着物質の影響

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  • Effects of Adsorbed Species on Shape Change in Ultrafine Cu Plating and Etching
  • ビサイ ドウメッキ ト エッチング ニ オケル ケイジョウ ヘンカ ト キュウチャク ブッシツ ノ エイキョウ

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抄録

<p>銅めっきおよびエッチチングにおいて，抑制剤および促進剤として作用する吸着物質による超微細構造の形状変化が観測されている．曲率増強促進剤被覆機構がダマシン工程における狭くそして深い溝の銅めっきを説明するのに重要である．表面に吸着したインヒビターによる銅エッチングにおける形状変化をこの理論を用いて説明する．</p>

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