-
- 荒牧 國次
- 慶應義塾大学
書誌事項
- タイトル別名
-
- Effects of Adsorbed Species on Shape Change in Ultrafine Cu Plating and Etching
- ビサイ ドウメッキ ト エッチング ニ オケル ケイジョウ ヘンカ ト キュウチャク ブッシツ ノ エイキョウ
この論文をさがす
抄録
<p>銅めっきおよびエッチチングにおいて,抑制剤および促進剤として作用する吸着物質による超微細構造の形状変化が観測されている.曲率増強促進剤被覆機構がダマシン工程における狭くそして深い溝の銅めっきを説明するのに重要である.表面に吸着したインヒビターによる銅エッチングにおける形状変化をこの理論を用いて説明する.</p>
収録刊行物
-
- Zairyo‐to‐Kankyo
-
Zairyo‐to‐Kankyo 69 (9), 234-236, 2020-09-10
公益社団法人 腐食防食学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390568772520863232
-
- NII論文ID
- 130007994761
-
- NII書誌ID
- AN10235427
-
- ISSN
- 18819664
- 09170480
-
- NDL書誌ID
- 030660483
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可