光導波路構造により高い光学性能を有する3.4μm画素ピッチグローバルシャッターCMOSイメージセンサ

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  • A High Optical Performance 3.4 μm Pixel Pitch Global Shutter CMOS Image Sensor with Light Guide Structure

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光導波路構造を用いることで，高い光学性能を有する3.4μm画素ピッチのグローバルシャッターCMOSイメージセンサを開発した．感度は28,000e-/lx·s，寄生光感度は-89dBを達成し，それぞれの入射角度特性が光導波路構造の効果により大きく向上することを明らかにした．また，複数回蓄積駆動により，120fpsにおいて1.8e- のテンポラルノイズと，16,200e- の飽和信号を実現した．

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