0.2%Be-Cu材の放出ガス特性

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タイトル別名
  • Characteristic of outgassing for 0.2% Be-Cu

抄録

<p>0.2%Be-Cu材は、高熱伝導率、低熱輻射、低ガス放出量などの特性により、極高真空計、高性能質量分析計や超高真空材料として使用されている。ビルドアップ法によるBeCuの放出ガス量の測定1)がされており、非常に少ないことが分かっている。一般的な真空チャンバーのベーキング方法による放出ガス速度を測定し、BeCuとSUS304の特性比較を行った。</p>

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390571968054445824
  • NII論文ID
    130008134252
  • DOI
    10.14886/jvss.2021.0_3p25
  • ISSN
    24348589
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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