0.2%Be-Cu材の放出ガス特性
書誌事項
- タイトル別名
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- Characteristic of outgassing for 0.2% Be-Cu
抄録
<p>0.2%Be-Cu材は、高熱伝導率、低熱輻射、低ガス放出量などの特性により、極高真空計、高性能質量分析計や超高真空材料として使用されている。ビルドアップ法によるBeCuの放出ガス量の測定1)がされており、非常に少ないことが分かっている。一般的な真空チャンバーのベーキング方法による放出ガス速度を測定し、BeCuとSUS304の特性比較を行った。</p>
収録刊行物
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- 日本表面真空学会学術講演会要旨集
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日本表面真空学会学術講演会要旨集 2021 (0), 3P25-, 2021
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390571968054445824
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- NII論文ID
- 130008134252
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- ISSN
- 24348589
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可