フラッシングスプレーCVD法におけるノズル形状の最適化

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  • Optimization of Nozzle Shape by Flashing Spray CVD Method
  • フラッシングスプレーCVDホウ ニオケル ノズル ケイジョウ ノ サイテキカ

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抄録

筆者らは配管ラインおよび気化器における成膜原料の熱分解などの諸問題を解決するため、減圧沸騰噴霧を用いた新しい化学気相堆積法(CVD)であるフラッシングスプレーCVD(FS-CVD)法を提案している。本手法は液体の成膜原料をチャンバ内の低雰囲気圧場に非定常間欠噴霧によりCVDチャンバ直上に設けたインジェクタより直接供給する。さらに揮発溶剤を混合することにより気液平衡理論により低揮発性の成膜原料を高揮発性物性値に改善することが可能である。本実験ではTEOSとn-ペンタン混合溶液を使用した.本実験に最適なノズル形状を拡大撮影画像とLIFとMie散乱画像から得られる蒸気濃度分布、気化特性、液相ペネトレーションより評価した。最適化したノズルを用いてFS-CVD法により成膜を行った。

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