狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータの大気圧プラズマによるワイヤ電極を用いた内壁無歪み加工

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抄録

<p>チャネルカット結晶はSPring-8のような高輝度硬X線光源におけるモノクロメータとして有用である．しかしその複雑な形状から，反射面である内壁側面部に既存の高精度研磨技術を適用できない．我々はこれまで大気圧プラズマによるエッチング技術を応用し，内壁の無歪み加工手法を開発してきた．狭い溝構造を有する内壁面にも適用が可能な電極として，新たに直径50 µmのニッケルワイヤを電極として採用し，その加工特性を評価した．</p>

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  • CRID
    1390573242514142208
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2021a.0_542
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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