溶液塗布熱分解法の繰返しによる強誘電相Hf<sub>0.5</sub>Zr<sub>0.5</sub>O<sub>2</sub>積層膜の特性
書誌事項
- タイトル別名
-
- Characteristics of the Multi-Coated Hf<sub>0.5</sub>Zr<sub>0.5</sub>O<sub>2</sub> Films by a Chemical Solution Deposition Method
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 1236-1236, 2020-02-28
公益社団法人 応用物理学会