高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレート上へのDUV-LED作製
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of DUV-LED on High-Temperature Annealed Sputter-Deposited AlN Template
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.1 (0), 3124-3124, 2020-02-28
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390573715144235904
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- ISSN
- 24367613
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC