MgおよびCaドーピングによるZnO薄膜のUHF帯電気機械結合係数<i>k</i><sub>t</sub><sup>2</sup>の向上
書誌事項
- タイトル別名
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- Enhancement of electromechanical coupling coefficient<i> k</i><sub>t</sub><sup>2</sup> of ZnO thin film BAW resonators by Mg or Ca doping in the UHF frequency ranges
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1186-1186, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会