変調-無変調Ar/CH<sub>4</sub>/H<sub>2</sub>誘導熱プラズマの時間直列照射法を用いた多結晶ダイヤモンド膜生成の圧力依存性
書誌事項
- タイトル別名
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- Pressure dependence of polycrystalline diamond film deposition using time-series exposure of modulated and non-modulated Ar/CH<sub>4</sub>/H<sub>2</sub> induction thermal plasmas.
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 1842-1842, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会