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バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄装置における水流の設計と検証
DOI
高橋 俊範
横国大院理工
松尾 美弥
横国大院理工
羽深 等
横国大院理工
後藤 昭広
プレテック
書誌事項
タイトル別名
Design and Verification of Water Flow in Batch-Type Silicon Wafer Wet Cleaner
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.2 (0), 2968-2968, 2019-09-04
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
18a-E303-2
半導体
Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション
清浄化
シリコンウエハ洗浄装置
水流
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390574290261651456
DOI
10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_2968
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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