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MOVPEリアクタ内におけるCp<sub>2</sub>Mgの温度依存性
DOI
佐藤 陽子
堀場エステック
林 大介
堀場エステック
南 雅和
堀場エステック
村松 昇
名城大学
岩谷 素顕
名城大学
書誌事項
タイトル別名
Temperature dependence of Cp<sub>2</sub>Mg using <i>in-situ</i> monitoring in MOVPE reactor
収録刊行物
応用物理学会学術講演会講演予稿集
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2019.1 (0), 3125-3125, 2019-02-25
公益社団法人 応用物理学会
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キーワード
10a-W541-3
結晶工学
III-V族窒化物結晶
成長(MOVPE)
p-GaN
有機金属気相成長法
Cp2Mg
詳細情報
詳細情報について
CRID
1390574677162781568
DOI
10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_3125
ISSN
24367613
本文言語コード
ja
データソース種別
JaLC
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