低温高密度プラズマ処理による銀ナノファズ構造の形成

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タイトル別名
  • Formation of silver nanofuzz structure using low-temperature high-density plasma treatment

抄録

<p>我々は、スーパーキャパシタ電極や触媒として利用可能な金属表面ナノ構造を、低環境負荷なプラズマプロセスにより創成することを試みている。これまで、水素プラズマを用いたナノポーラス構造の形成に成功してきた。今回、より表面積の大きなナノファズ構造銀表面を形成するため、中圧域で生成した低温高密度Heプラズマの利用を試み、ナノ構造の支配因子を検討した。その結果を報告するとともに、形成機構について議論する。</p>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390574754489463808
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2022s.0_80
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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