有機金属気相成長法を用いた酸化ガリウム結晶成長の熱力学解析
書誌事項
- タイトル別名
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- Thermodynamic Analysis of Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Growth by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.2 (0), 3772-3772, 2018-09-05
公益社団法人 応用物理学会