Ｘ線多層膜レプリカ回折格子の耐熱性研究

DOI

今園孝志

量研
西原弘晃

島津製作所
浮田龍一

島津製作所
笹井浩行

島津製作所
長野哲也

島津製作所

書誌事項

タイトル別名

Study on heat resistance of multilayer-coated replica gratings for X-rays

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 1733-1733, 2018-03-05

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390575130484803840
DOI

10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_1733
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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