バイオテンプレート極限加工技術を用いたSi/SiGe<sub>0.3</sub>ナノワイヤーの作製と熱伝導率の評価
書誌事項
- タイトル別名
-
- Fabrication of Si/SiGe<sub>0.3</sub> nano wire using Bio-template Ultimate Top-down Process and Its Thermal conductivity
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 (0), 1904-1904, 2017-08-25
公益社団法人 応用物理学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390575418085897856
-
- ISSN
- 24367613
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
