複雑化・深化するOPC(近接効果補正): GPUによる高速化処理とOPC配置数の削減
書誌事項
- タイトル別名
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- Complex and Deepening OPC (Optical Proximity effect Correction) : High Speed Writing Data Processing by GPGPU and Reduction of OPC Placements by Quadruple Pattern Technology
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.1 (0), 1657-1657, 2017-03-01
公益社団法人 応用物理学会