エキシマレーザー照射による固相結晶化Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜における構造及び光学特性への照射条件の影響
書誌事項
- タイトル別名
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- Effect of excimer laser irradiation condition on solid phase crystallization, structure and optical property of Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> thin films
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 1391-1391, 2015-08-31
公益社団法人 応用物理学会