エキシマレーザー照射による固相結晶化Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜における構造及び光学特性への照射条件の影響

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  • Effect of excimer laser irradiation condition on solid phase crystallization, structure and optical property of Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> thin films

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