TaN薄膜を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器の作製
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of Microwave Kinetic Inductance Detectors using TaN Thin Films
- 公開日
- 2015-02-26
- DOI
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- 10.11470/jsapmeeting.2015.1.0_2129
- 公開者
- 公益社団法人 応用物理学会
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 2129-2129, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会
