反応性プラズマ蒸着法によって作製したGa添加ZnO薄膜における構造特性への酸素ガス流量及びGa添加量の効果
書誌事項
- タイトル別名
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- Effects of Oxygen-Gas-Flow Rates and Ga Contents on Structural Properties of Ga-Doped ZnO Films Prepared by Reactive Plasma Deposition with a DC Arc Discharge
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3826-3826, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会
