イオン液体EMIM-N(CN)<sub>2</sub>イオンビームによる薄膜形成

DOI

星出優輝

京大光電子理工セ
竹内光明

京大光電子理工セ
龍頭啓充

京大光電子理工セ
高岡義寛

京大光電子理工セ

書誌事項

タイトル別名

Thin film Deposition by Ionic Liquid EMIM-N(CN)2 Ion Beams

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 1489-1489, 2014-09-01

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390577895701096960
DOI

10.11470/jsapmeeting.2014.2.0_1489
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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