有機金属気相成長法によるScAlMgO<sub>4</sub>(0001)基板上(In)GaNエピタキシャル層の作製と評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Characterization of (In)GaN Epitaxial Layers Grown on ScAlMgO<sub>4</sub>(0001) Substrates by Metal-organic Vapor Phase Epitaxy
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 3203-3203, 2014-09-01
公益社団法人 応用物理学会