成膜時のO<sub>2</sub>/(Ar+O<sub>2</sub>)比がInZnMgO:Al透明導電膜に与える影響について
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- 米田 拓未
- 立命館大学
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- Ergashev Bobur
- 立命館大学
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- 根上 卓之
- 立命館大学
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- 河野 悠
- 立命館大学
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- 峯元 高志
- 立命館大学
書誌事項
- タイトル別名
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- Effect of O<sub>2</sub>/(Ar+O<sub>2</sub>) ratio during deposition on InZnMgO:Al TCO
収録刊行物
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- 「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム（日本太陽光発電学会学術講演会）予稿集
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「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム（日本太陽光発電学会学術講演会）予稿集 3 (0), 90-90, 2023-06-23
日本太陽光発電学会