PCDブレード工具による微細加工技術に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- Study of fine groove machining using poly-crystalline diamond (PCD) blade tool
抄録
<p>パワー半導体デバイスに必要とされるSiC(炭化ケイ素)に対し、PCD(焼結ダイヤモンド)ブレード工具を用いた微細幅の溝入れ加工を行った。ブレード回転時の静的な振れに加え、高速回転時の動的な振れをレーザ変位計で測定し、振れの挙動を抑えた。また、ピコ秒レーザ加工によりブレード先端部の鋭利な切れ刃再生を試みた。極薄ブレードによる微細溝と高密度切れ刃による鏡面状態とを得る新しい精密加工技術の実現を目指す。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023S (0), 248-249, 2023-03-01
公益社団法人 精密工学会