円錐ミラーを用いた円筒内面円周一括露光の高精細化と観察光学系の導入

DOI

Abstract

<p>円筒試料の内側に円錐ミラーを入れて投影パターンを反射させ、内面円周方向に一括露光する光リソグラフィ技術を研究中である。等倍で投影する光学系の途中にハーフミラーを設置し、円筒試料内面のパターン像をディスプレイに映す観察光学系を導入した。線幅50μmの同心円パターンをレチクルに用い、レジストを塗布した内径 14mm の透明円筒試料内面の一部にライン＆スペースパターンを形成できた。</p>

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