固体電解質Li<sub>3</sub>PO<sub>4-x</sub>N<sub>x</sub>(LiPON)薄膜作製条件の検討

DOI

熊谷明哉

東北大　WPI-AIMR
清水亮太

東北大　WPI-AIMR
大澤健男

東北大　WPI-AIMR
鈴木竜

東北大　WPI-AIMR
白木将

東北大　WPI-AIMR
一杉太郎

東北大　WPI-AIMR

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2013.1 (0), 1286-1286, 2013-03-11

公益社団法人応用物理学会

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詳細情報詳細情報について

CRID

1390578847124200832
DOI

10.11470/jsapmeeting.2013.1.0_1286
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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