Te化法によるGeSbTe膜の高アスペクト比ホール内組成制御

DOI

須田耕平

明大
堀池喬文

明大
浜田せいち

明大
宇納知寛

明大
町田英明

気相成長
石川真人

気相成長
須藤弘

気相成長
有馬進

東京エレクトロン
河野有美子

東京エレクトロン
大下祥雄

豊田工大
小椋厚志

明大

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2012.1 (0), 2987-2987, 2012-02-29

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390579599233128320
DOI

10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_2987
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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