共振器-スロット型ランチャーを用いた915MHz表面波励起プラズマの生成と大面積表面プロセスへの応用

Journal

• JSAP Annual Meetings Extended Abstracts

  JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2011.2 (0), 1237-1237, 2011-08-16

  The Japan Society of Applied Physics