マスクを用いた多孔質シリコン選択化成における基板表面水素の影響

DOI

永田清一

豊田工大
村田純一

浜松ホトニクス
小島信晃

豊田工大
大下祥雄

豊田工大
山口真史

豊田工大

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2011.1 (0), 623-623, 2011-03-09

公益社団法人応用物理学会

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CRID

1390580250922019072
DOI

10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_623
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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