多原子分子イオンビームによるシリコン基板への炭素注入
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.2 (0), 1464-1464, 2010-08-30
公益社団法人 応用物理学会
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2010.2 (0), 1464-1464, 2010-08-30
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