マイクロCMMを用いた球直径測定に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- Sphere diameter measurement using a micro-coordinate measuring machine
- Development of T-shaped sharp styli
- T型先鋭スタイラスの開発
説明
<p>産業技術総合研究所は、マイクロCMMを用いた球の2点直径校正法の開発に取り組んでいる。球の直径測定の不確かさ低減のため、本論文では、試料表面とプローブ間の相互作用力の低減に向けた取り組みについて報告する。これまで使用してきた先端半径約500μmのプローブに対して、プローブをT型構造とすることで、先端半径約8μmのプローブを開発した。スタイラス先端半径の先鋭化に伴うμ-CMMのプロービング性能と相互作用力の関係について調査結果を報告する。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2023A (0), 528-529, 2023-08-31
公益社団法人 精密工学会