2次元半導体層状物質の結晶成長における核形成過程直接観測

DOI
  • 加藤 俊顕
    東北大学 大学院工学研究科 東北大学 材料科学高等研究所（AIMR）

書誌事項

タイトル別名
  • Direct observation of nucleation dynamics for atomically thin layered 2D semiconductor material

抄録

<p>原子オーダ厚みの層状物質である遷移金属ダイカルコゲナイド（TMD）は，2次元半導体原子層材料として，特に光電子デバイスの分野で多くの注目を集めている．近年目覚ましい合成技術の進歩がなされウェーハスケールの大面積合成が実現されつつある一方で，デバイス性能に直結する品質の向上に関しては，さらなる発展が必要なのが現状である．筆者らは，本課題に対し合成機構の詳細な理解が必須であると着眼し，独自に開発した“その場観測CVD装置”を活用した研究を展開している．本稿では，これら筆者らのTMD合成機構に関する最新の内容を中心に紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 93 (3), 169-173, 2024-03-01

    公益社団法人 応用物理学会

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390580793844997632
  • DOI
    10.11470/oubutsu.93.3_169
  • ISSN
    21882290
    03698009
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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