STEMの走査線と結晶格子によるモアレ縞による歪の計測

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タイトル別名
  • Strain Analysis Using STEM Moiré Method
  • STEM ノ ソウサセン ト ケッショウ ゴウシ ニ ヨル モアレジマ ニ ヨル ヒズミ ノ ケイソク

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説明

<p>STEMでのモアレ縞を利用した結晶歪の計測を報告する．STEMモアレ縞は格子縞の同程度の間隔の走査線によるアンダーサンプリング効果で生成する．モアレの間隔は格子と走査線の間隔の比と方向によって決まる．このモアレ縞を用いることによりSiの格子歪の分布を定量的に測定できた．STEM像取得中の試料ドリフトを補正し，複数枚の歪マップの平均によって，計測精度はσ = 0.2％程度まで高めることができた．</p>

収録刊行物

  • 顕微鏡

    顕微鏡 49 (3), 226-230, 2014-12-30

    公益社団法人 日本顕微鏡学会

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