X線モノクロメータ用Ge単結晶に対する大気圧プラズマを用いた無歪みエッチング条件の検討

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抄録

<p>SPring-8のような大型放射光施設では，X線のバンドパスフィルターとして主にSi結晶モノクロメータが利用されている．一方，GeはSiと比較して格子定数が大きく，(111)面によるX線回折のエネルギー幅が約2.5倍であることから，Ge結晶を用いることで，より高強度な準単色X線が利用可能になる．そこで，大気圧プラズマを用いた無歪みエッチングのGe結晶に対する加工特性を評価し，表面粗さの悪化なく目標加工量を得るための条件を検討した．</p>

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  • CRID
    1390845702276563584
  • NII論文ID
    130007702797
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2019s.0_772
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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