ゾルゲル法によるPZT薄膜の構造および強誘電体特性に及ぼす仮焼成温度の効果

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タイトル別名
  • Effect of Prebaking Temperature on Structure and Ferroelectric Properties of PZT Thin Films Prepared by Sol-Gel Method
  • ゾルゲルホウ ニヨル PZT ハクマク ノ コウゾウ オヨビ キョウユウデンタ

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抄録

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