液体Siによる紙の上での多結晶Si薄膜トランジスタ

DOI Web Site
  • 石原 良一
    デルフト工科大学 電子情報数理学部量子・計算機学科 QuTech 北陸先端科学技術大学院大学 マテリアルサイエンス系環境エネルギー領域
  • トリフノビッチ ミキ
    デルフト工科大学 電子情報数理学部量子・計算機学科 QuTech
  • スベルナ パオロ
    デルフト工科大学 電子情報数理学部量子・計算機学科 QuTech
  • 下田 達也
    北陸先端科学技術大学院大学 マテリアルサイエンス系環境エネルギー領域

書誌事項

タイトル別名
  • Liquid-silicon processed polycrystalline silicon thin-film transistors on paper
  • エキタイ Si ニ ヨル カミ ノ ウエ デ ノ タケッショウ Si ハクマク トランジスタ

この論文をさがす

説明

<p>印刷エレクトロニクスはフレキシブル電子デバイスを低コスト・低環境負荷で生産できる可能性があることから注目されている．シリコン（Si）は高移動度，高信頼性のみならず，CMOS低消費電力回路を実現できる理想的な半導体材料であり，Siインクである液体Siの開発により印刷も可能となった．植物由来材料である紙基板と組み合わせることで，生分解可能な商品包装用電子タグや，経口摂取可能なバイオセンサなどへと応用発展できる．しかしこれまで，Siインクの焼成には350°C以上の温度が必要であった．本稿では，液体Siの基本と，我々が開発した液体Siインクを用いた低温ポリSi膜形成技術，紙基板上に作製した薄膜トランジスタとその特性を紹介する．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 88 (1), 26-30, 2019-01-10

    公益社団法人 応用物理学会

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ