MEMSによるセンサの革新

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タイトル別名
  • Revolution of sensors in micro electro mechanical systems (MEMS)
  • MEMS ニ ヨル センサ ノ カクシン

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抄録

<p>MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）による小形のセンサは，システムの入力デバイスとして重要な働きをしている．ピエゾ抵抗型や容量型の圧力センサ，SAWデバイスによるワイヤレス圧力センサ，ロボット用触覚センサネットワーク，加速度センサや角速度センサ（ジャイロスコープ），光スキャナを用いた距離画像センサ，赤外線イメージャ，FTIRやガスクロマトグラフの成分センサ，流体用のフローセンサ，医療用の極細光ファイバ血圧センサや体内埋め込み圧力センサについて述べる．</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 80 (3), 181-188, 2011-03-10

    公益社団法人 応用物理学会

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