酸化亜鉛紫外LEDの開発とその材料科学

  • 中原 健
    ローム(株)先端化合物研究開発センター
  • 川﨑 雅司
    東京大学大学院工学系研究科 東北大学原子分子材料科学高等研究機構 科学技術振興機構CREST

書誌事項

タイトル別名
  • Development of ultraviolet light-emitting diodes based on zinc oxide and its materials science
  • サンカ アエン シガイ LED ノ カイハツ ト ソノ ザイリョウ カガク

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抄録

<p>酸化亜鉛(ZnO)系ヘテロ接合を分子線エピタキシー法で成長し,紫外発光ダイオードを作製した.薄膜の高純度化・高品質化のため,ZnO基板の清浄化,基板ホルダ材料の選定,基板温度計測方法の確立などに注意を払った.窒素ドープ源としてアンモニアを,ZnO基板としてZn極性面を採用することで,ワイドギャップ(MgZn)Oのp型化に成功し,30mAの注入電流で70μWに達するバンド端近傍の紫外(380nm)発光を得た.</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 80 (4), 314-318, 2011-04-10

    公益社団法人 応用物理学会

被引用文献 (2)*注記

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参考文献 (16)*注記

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