InGaZnO TFTの無線タグ(RFID)応用

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タイトル別名
  • RFID application of InGaZnO TFT
  • InGaZnO TFT ノ ムセン タグ(RFID)オウヨウ

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抄録

<p>a-InGaZnO TFTを用いて,アンテナ一体型の超薄型RFIDを試作し,無線動作を確認した.完全空乏型のa-InGaZnO TFTを用いて整流回路,RF通信回路,論理回路を形成し,回路全体での消費電力を20µW以下に抑えた.薄膜プロセスのみで形成されたRFIDは最厚部のアンテナを加えても段差が数µm以下であり,さまざまな形状に違和感なく貼り付け,組み込み可能である.</p>

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 82 (10), 866-870, 2013-10-10

    公益社団法人 応用物理学会

参考文献 (15)*注記

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