書誌事項
- タイトル別名
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- A Note on Image Analysis and Anomaly Detection Using Deep Learning
- シンソウ ガクシュウ オ モチイタ ガゾウ カイセキ ・ イジョウ ケンチ ニ カンスル イチ コウサツ
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抄録
近年あらゆる分野において機械学習,特に深層学習の導入が進んでいる.本稿では,筆者がこれまで に実施してきた SEM 画像を用いた半導体デバイスの形状計測・欠陥検査への深層学習の応用事例を紹 介する.ネットワーク構成やパラメータのみならず,ウェーブレット変換等の他の技術と深層学習を結 合することで性能の改善が見られることを示す.また,画像解析や異常検知に関する最新の研究事例の 一部を紹介する.
収録刊行物
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- 日本信頼性学会誌 信頼性
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日本信頼性学会誌 信頼性 40 (2), 81-86, 2018
日本信頼性学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390845702296234624
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- NII論文ID
- 130007724411
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- NII書誌ID
- AN10540883
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- ISSN
- 24242543
- 09192697
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- NDL書誌ID
- 028972372
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可