ラッピング加工における格子溝定盤上のミリバブルスラリー挙動

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  • Slurry actions of milli-bubble by lapping of grating groove
  • ラッピング カコウ ニ オケル コウシ コウ ジョウバン ジョウ ノ ミリバブルスラリー キョドウ

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抄録

<p>ラッピング加工ではスラリ-中の砥粒が加工部で転動し，ウェ-ハ表面を微小に削り取ることで研磨が進行する．このような加工原理であるため，スラリ-をラップ定盤上に均一かつ広範囲に広げることが表面性状や研磨能率の向上のため重要であるといえる．このため別報では数ミリサイズの気泡を含有するスラリ-を供給することで溝なし定盤上に広範囲な供給を行えるようにし，研磨特性の観点でも有意であることを示した．そこで，本研究ではラッピング加工に一般的に用いられる格子溝定盤上のスラリ-挙動について観察を行った．その結果，ラッピング加工における定盤表面の格子溝はスラリ-供給幅の拡大の効果があることを明らかにした．そして，数ミリサイズの気泡を含有するスラリ-は格子溝定盤を用いることによりさらに定盤上で広がりやすくなり，スラリ-中の気泡は格子溝定盤とウェ-ハの間には入り込まないことを示した．</p>

収録刊行物

  • 砥粒加工学会誌

    砥粒加工学会誌 63 (6), 309-314, 2019-06-01

    社団法人 砥粒加工学会

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