書誌事項
- タイトル別名
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- Development of Teaching Materials for MOEMS Technology by Using Photolithography
- フォトリソグラフィを用いたMOEMS技術の教材開発(第3報)マイクロ光電子デバイスの設計及び基礎特性の評価
- フォトリソグラフィ オ モチイタ MOEMS ギジュツ ノ キョウザイ カイハツ(ダイ3ポウ)マイクロ コウデンシ デバイス ノ セッケイ オヨビ キソ トクセイ ノ ヒョウカ
- ‐第3報,マイクロ光電子デバイスの設計及び基礎特性の評価‐
- -3nd Report, Design and Evaluation of Basic Characteristics for Micro-Opto-Electro Device-
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収録刊行物
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- 東京工業高等専門学校研究報告書
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東京工業高等専門学校研究報告書 45 (2), 73-80, 2018
独立行政法人 国立高等専門学校機構 東京工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390845713014756608
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- NII論文ID
- 130007502201
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- NII書誌ID
- AN0040772X
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- ISSN
- 21895309
- 02860503
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- NDL書誌ID
- 025243610
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles