PF05 Si/圧電体構造を有するSAW機能素子の作製(ポスターセッションI)
書誌事項
- タイトル別名
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- PF05 Fabrication of SAW functional devices with semiconductor-piezoelectric structure
収録刊行物
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集
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超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集 21 (0), 159-160, 2000-11-06
特定非営利活動法人 超音波エレクトロニクス協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390845713022685568
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- NII論文ID
- 110007464034
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- ISSN
- 24331414
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles