Inclination Effects on Voltage-controlled Tuning of MEMS Disk Resonator Array Composite Fabricated by Deep Reactive Ion Etching Process

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• CRID

  1390845713025427712

• DOI

  10.18494/sam.2018.1972

• ISSN

  24350869

  09144935

• 本文言語コード

  en

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref